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第277章 发挥空间（第1页）

自由讨论环节一直持续到了晚上。

大家提出了很多想法，拿出了很多建议，但同时，也暴露了很多问题。

尤其是连接性和完整性的问题。

大家发现何成说的是对的，华夏想搞先进光刻机自研自产，最大的困境就是必须得全面自研，任何一个关键技术，关键设备或者关键零部件的缺失，都会导致华夏搞不出自己的光刻机。

所以连接性和完整性极其重要，华夏现在搞光刻机自研自产，绝对不能再单纯的使用模块化认领的老套路了。

毕竟以前没有瓦森纳协定，但现在有了。

时代完全不一样了。

所以各机构之间的协调合作，信息的及时互通，针对空白区域的及时填补等等，都变得极为重要。

好在大家现在已经有了这个意识，有了意识就会重视，有了重视，接下去就是解决问题。

虽然这个问题解决起来不容易。

何成用笔把一些重要的信息都认真的记录在了笔记本上，虽然会后微电子研究所这边就会给每个人发一份会议记录，但这是何成的习惯，能更好的帮自己标注重点。

临近午夜，只吃了一顿午饭的众人依旧精神饱满的继续着讨论。

而话题再一次回到了光源方案上。

大家现在主要倾向的依旧是尼康方案，从时代背景来说，这确实是很难改变的事情。

不过对于何成提出的浸入式光刻机方案，大家都表示会积极参与，这对何成来说这就够了。

反正从长远发展来说，尼康方案所涉及的技术以后都是用得上的。

只要后续华夏光刻机能起来，这就不是无用功。

无非现阶段的投入会更大，但何成有钱。

而在光源方案讨论的差不多快结束时，长光机所的代表汤建华突然走到何成身边问道，“何总怎么看EUV这个方向，怎么看EUVLLC联盟这个组织？”

何成发现一件事情，自从大家从内心接受了何成入局这件事情后，大家对于何成的态度就变得积极了起来。

很愿意跟何成交流，也很愿意倾听何成的意见。

而何成看着汤建华，眼神中不自觉的流露出了一些敬意。

是对汤建华的敬意，更是对长光机所的敬意。

在光学技术领域，华夏有很长一段空窗期，是王大恒创办的长光机所改变了这一情况。

1958年，长光机所自主研发了1秒精度大地测量经纬仪、1微米精度万能工具显微镜、大型石英摄谱仪、中型电子显微镜、中子晶体谱仪、地形测量用多倍航摄投影仪、光电测距仪、高温金相显微镜以及融化态光学玻璃。

可谓一举成名。

1961年，长光机所又研发生产了华夏第一台激光器。

华夏未来在激光领域的种种成就，从此生根发芽。

80年代，长光机所更是在军事领域解决了多项关键的光学技术瓶颈。

所以针对光刻机的自研，大家都默认长光机所将会担任极其重要的角色。

“我还是从未来倒退的逻辑，DUV的理论极限有人说是10nm，也有人说是7nm，但不管是10nm还是7nm，20年后基本上就到极限了。”

“所以光刻机的基础设计逻辑没有巨大变化的话，EUV确实大概率会成为未来的光源方案。”

汤建华微微皱眉，“如果要考虑EUV的未来发展需求，我们现在需要做的准备可能还得再全面一些。”

“弗劳恩霍夫光机所去年就开始搭建EUV镀膜机了，就在最近，弗劳恩霍夫光机所的EUV反射膜完成了反射率测试，获得56%的反射率。”