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320 光刻机进入最后测试环节（第2页）

“冯贤亮，将晶圆放入舱体。”

韩琛说道。

“好的，韩总。”

站在韩琛身后的冯贤亮说道。

随后冯贤亮推着一辆板车往光刻机方向走去，没一会他来到光刻机的右侧进料口，进料口在韩琛操作下弹了出来，冯贤亮将晶圆片放入进料口当中。

“韩总，晶圆已经送进舱体了。”

冯贤亮说道。

“好的。”

韩琛回道。

随后韩琛将芯片图纸导入到系统当中并按下了光刻机的启动键。

虽然光刻机的舱体是密封真空的，但是舱体里面安装有摄像头，可以通过摄像头观看舱体内的情况，激光头按照预设好的程序将x射线打在晶圆上。

随着机器运转现在的工作人员精神变得紧绷起来，只是他们现在再着急也没有用，因为x射线光刻机处理的速度非常缓慢。

因为这种x射线光刻机处理一片8寸晶圆需要5分钟的时间，也就是说一台x射线光刻机一个小时最多处理12片晶圆。

相对比asl、佳能、尼康的dvu光刻机那是一个天差地别，这些厂家所研发的duv光刻机每小时可以处理100片晶圆，效率是x射线光刻机的9倍多。

别看韩琛研发的x射线光刻机效率慢，它比现有的duv光刻机强悍多了。

一台x光射线光刻机成本只要58万软妹币，除此以外x光射线光刻机功耗比duv低，它制作一片晶圆功耗只有duv的58，最重要的是它不需要制作掩膜。

效率不够完全看用数量来凑，1台一小时可以生产12片，10台一小时就可以生产120片。

一台duv光刻机售价可是高达几千万软妹币，10台x光射线光刻机只要580万软妹币。

可以说x光射线光刻机除了效率以外其他方面完胜现有duv光刻机，只是euv光刻机都没有办法跟x光射线光刻机相比。

x光射线光刻机最牛的地方就是它的升级迭代十分简单，后续只需要升级现有的激光头就可以了，升级一台设备的成本不到10万软妹币。

虽然说x光射线光刻机只需要升级激光头就可以，但是x光射线光刻机激光头制作十分复杂，但是激光头的研发成本可不比duv光刻机研发成本低。

x光射线光刻机只是量产以后制作成本比较低而已。

5分钟后一片晶圆从光刻机仓内传送出来，不过韩琛等人并未急着去动它，想要知道光刻机是否有问题，还需要更多的样本来检测才行。

转眼一个小时过去。

x光射线光刻机成功将12片晶圆送出光刻机舱体。

“段振元，将这些晶圆送去刻蚀吧，等结果出来以后告诉我。”

韩琛说道。

“好的，韩总。”

段振元回道。

虽然光刻机已经将电路刻在晶圆片上，但是后面还有许多流程等着。

比如刻蚀，刻蚀需要用液体、气体或等离子体等方法去除氧化层上多余的部分，只留下光刻图案所覆盖的部分。

刻蚀过程通常分为湿法刻蚀和干法刻蚀，前者使用特定的化学溶液进行化学反应，后者使用气体或等离子体进行物理或化学反应。