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第七百二十五章 开研讨会(第2页)

我代表维创电子公司表个态,不管研发过程中遭遇怎样的困难,需要投入几亿,十几亿,甚至几十亿的研发资金,我们维创电子也在所不惜。

接下来,有请姜教授就下一代光刻机研发计划,做一下总体规划。”

姜安平拿出一份手写的稿子,清了清嗓子说道:

“当初刘老板提供的光刻机研发资料中,有一份05微米光刻机研发概要,点明了几个研发要点,包括光源,透镜系统,双工台,掩模台等等。

其中双工台、掩膜台、控制系统、晶圆传输系统,可以通过一微米光刻机的相关部件进行升级改造达成,难度不是太大。

但为了达到05微米的加工精度,光源系统和透镜系统需要重新设计,重新打造,这个难度不是一般的大。”

乌光辉跟着发言道:

“我是搞激光技术出身,在光刻机光源方面有一定研究。

光刻分辨率想要达到05微米,光源波长需要达到365nm以下,且对光源强度和均匀度都有非常严格的要求。

咱们在一微米光刻机上使用的高压汞灯,理论上其极限能达035微米的加工精度,但需要对其结构进行彻底的改造,且越是接近极限,越难以达成。

而被业界普遍认定是下一代光刻机光源的KrF(氟化氪)准分子激光,光源波长为248nm,可以使最小工艺节点提升至350180nm水平。

当今世界上,很多激光相关的研究所,都在对准分子激光进行研发,进度参差不齐,达到实用水平的,一个都没有。

我的建议是,在光刻机光源方面,两种线路同时研发,哪个率先取得突破,下一代05微米光刻机上,就使用哪一种光源。”

一位光学方面的专家发言道:

“光源波长越短,传播过程中越容易被透镜吸收。

下一代05微米光刻机,如果依旧使用高压汞灯当光源,使用现在的透镜组合就足够了,顶多加工精度再提高一些。

如果使用准分子激光做光源,透镜系统就需要推倒重做,组合里至少增加两枚玻璃透镜,参数也要重新设计,还有镀膜材质也要重新开发。

这方面研究需要尽快提上日程,如果开发新透镜组合,需要的计算量非常的大,使用普通计算机计算,需要的时间会非常长,我建议咱们使用ARM1芯片,组装一台超级计算机出来。”

一位深镇大学教计算机的教授,推了推眼镜出声道:

“超级计算机确实是个好东西,咱们很多研发中的项目涉及到大量数据计算和模拟测试,如果咱们实验室有一台超级计算机,可以把研发速度提高很多。

维创电子公司晶圆工厂出产的ARM1芯片,是世界上第一款精简指令集芯片,以10万晶体管数量,提供了远超80286芯片的性能,在功耗上,也只有后者的三分之一左右,是制作超级计算机的最优芯片。

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