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第252章 一子解双征（第1页）

方卓是在深夜十一点五十二分落地合肥，继而前往冰芯厂区，到达时已经逼近凌晨一点。

如此匆匆，只因为这边通知了新阳研发实验室的最新消息，由柴庆良领导的一支团队在使用新的聚酯环族丙烯酸酯之后构建出了合适的树脂体系，进而在原有的基础上推出一款ArF光刻胶，经初步测试之后呈现的结果是——可用。

只是初步测试，但简单的两个字格外动人心弦。

“可用”

。

任何人都知道易科与冰芯如今的处境，也因此，当方卓接到电话，他就知道敢于在这种情况通知给自己的信息必然极其关键，也必然已经有了相当的把握，只是出于谨慎没有打出百分百的包票。

凌晨一点十五分，方卓见到做出可用光刻胶的研发团队负责人柴庆良，听取他对相关情况的汇报。

柴庆良语速不快，重点谈到新的环族结构对聚合物在耐热性、光学性能等方面的影响，以及，三种配方树脂的相互作用。

方卓对研发人员的汇报特点已经颇为习惯，耐心听完这一通讲述，询问道：“这样的光刻胶应用到生产之中，预计刚开始的良率能达到多少？”

“30%左右。”

柴庆良平静地答道。

这样的良率对于一家晶圆制造企业无疑是不合格，是难以提供竞争力的，但是，这已经解决了从无到有的问题。

在座的人都清楚这种突破所能带来的意义。

不过，作为新阳的掌门人，王福翔听到这里还是多说了两句：“这次的光刻胶继续调整配方成分，提高它对波长光的敏感性，降低线宽粗糙度再提高成像质量，相信能在良率上继续获得提升。”

他扭头看向柴庆良，问道：“对吧，我这样说没错吧？”

柴庆良沉吟片刻，慢吞吞地答道：“理论上是这样，但实际工作上的推进也不一定，反正就是做做看。”

王福翔有些无奈，这位柴工就是这样……

实际上，新阳合肥这边同时进行着12款光刻胶树脂的研发，原本是另一个团队比较有希望，但没想到柴庆良这边先有了突破。

柴庆良这人吧，就是蔫蔫的，给人的感觉是“突破了是不错”

“没突破就没突破吧”

“也许能提高良率”

“也许提不了良率”

，怎么着都行，没有一点激情。

但是，如今初步测试的结果已出，他这哪里是蔫，分明是能成大事的稳重，是临危不乱的沉着，是在纷扰中坚守本心的笃定，是在挑战面前从容应对的智慧！

王福翔不好反驳功臣的话，眼睛不自觉看向冰芯的资深副总裁阎宗瑞，想让他谈谈情况。

阎宗瑞还没说话，办公室的门忽然被推开，冰芯总裁邱慈云也是匆匆的到了。

方卓起身欢迎，简单寒暄两句就让他坐在旁边一起听。

“现在这个2-8光刻胶还存在不少优化空间，30%的良率肯定是能提高的，方总，因为这个不单是光刻胶的问题，比如，我们可以做光学临近校正OPC，做相移掩模PSM等优化，这些都可以改善光的传播和相互作用，可以优化图案的分辨率和对比度。”

阎宗瑞过去一年多时间就负责这一块，不用多想就侃侃而谈，“只是说，最终良率能提升到什么地步，这就不好保证了，50%？60%？”

不管60%还是50%，这和冰芯自身先前的竞争力都天差地别。

邱慈云这时候说了句：“阎总，你就直接说你的结论。”

阎宗瑞略一踌躇，简短的给出代表己方团队的意见：“够用。”

够用！