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钱贺没有追问何成打算怎么解决,因为钱贺其实是比较信任何成的。
信任达到一定程度后就不会去问太多的东西,静观其变就是了。
两人都沉默后,微电子研究所的另一名副主任上台致辞,并确定了今天的会议重点是讨论技术。
上一次会议主要是收集行业意见的,所以参会人员更多。
这一次则是以技术讨论为主,今天的讨论结果将会成为后续最终确认如何定位光刻机项目的参考依据。
副主任致辞结束后,主任亲自上台先给大家分享了微电子研究所的一些技术发展情况以及一些技术想法。
然后其他机构和高校代表陆续上台。
在这个过程中,几乎每一个代表都会提及一个话题,就是光源突破的问题。
1999年,是华夏重新审视,重新定位光刻机的关键时刻,也是光刻机这个产品本身发展的关键时刻。
因为全球所有的光刻机企业,这会儿都被卡在193nm波长如何突破的问题上了。
准确来说,大家从1997年开始就被这个问题卡住了,从此,突破193nm之战,成为了光刻机行业的核心竞争点。
而1999年,是全球各家光刻机企业陆续决定突破方案的一年,从而促使这一竞争进入了关键时期。
其中包括157nmF2激光方案,电子束投射方案,离子投射方案,EUV方案和X光方案等等。
至于最终的战果,后世的人都很清楚,阿斯麦基于林本坚的思路推出了浸入式光刻机,一举干翻尼康,从此成为了光刻机市场唯一的霸主。
这里有一个很有趣的点在于,浸入式光刻机的核心理论就是在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水,然后水可以把193nm的光波长折射成134nm。
相比于尼康的157nmF2激光方案,相比于英飞凌的0。
00005nm离子投射方案,相比于朗讯实验室的电子投射方案,这是实现成本最低,实现方式最简单的方案。
可就是这样一个最低廉最简单方案,最终却成为了当下的最优方案。
这也是技术发展有意思的地方之一。
很多时候,往往是一个简单的突破点改变了一个影响全世界的产业。
所以对华夏的这些科研机构和高校来说,大家想要在这个时候重视光刻机的研发,自然绕不开光源突破这个话题。
而从大家的表述来看,90%以上的人都倾向于尼康的157nmF2激光方案。
不过这也很正常,一来,阿斯麦在1999年也还没有接触到浸入式光刻机这个思路。
二来,1999年这会儿,尼康依然是光刻机产业的龙头企业。
大家自然都会更信任尼康的方案。
而且事实上,1999年这会儿,所有光刻机公司不管重点押注的是哪一个方案,都会组建一个专攻157nmF2激光方案的团队,包括阿斯麦。
如果阿斯麦后边没有接触到浸入式光刻机这个想法,他们大概也会继续死磕157nmF2激光方案,在这个方案上,阿斯麦跟尼康的差距是明显的,那么尼康大概率会成为这个行业的唯一霸主。
这也是何成在研究历史的过程中经常会发现的一件事情:很多时候,改变大格局的不是实力,而是运气。
但前提是得有一定的实力,才能接得住这份运气。
如今的阿斯麦已经是行业老二,所以他接得住这份运气。
换做那些即将被市场淘汰的光刻机企业,这个运气砸在他们头上也不一定接得住。
会议现场,除了讨论光源方案,自然也少不了镜头,工作台,光刻胶,光掩膜版,光刻气体等内容。
可随着分享的人越来越多,大家都意识到一件事情,现场氛围越来越压抑了。
因为好像随便单拎出来一个东西,都存在很大的差距。
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